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Effects of working pressure on structure and properties of Al-containing amorphous carbon films prepared by high-power impulse magnetron sputtering

來源: 華匯儀器作者: 管理員時間: 2021-09-20 點擊: 1321 次

Effects of working pressure on structure and properties of Al-containing amorphous carbon films prepared by high-power impulse magnetron sputtering.pdf

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